一、中文题目：基于自由几何反弹簧设计的μGal级MOEMS相对重力仪
二、英文题目：A μGal MOEMS gravimeter designed with free-form anti-springs
三、作者信息：吴霜，闫文辉，王小旭，肖清雄，王振山，孙佳欣，余馨龙，杨曜先，朱启轩，杨关泰，姚中洋，李鹏飞，姜潮，黄维，卢乾波
四、发表刊物：Nature Communications
五、论文简介：地球物理应用和分布式重力探测等新场景的不断涌现对小型化高精度重力加速度测量提出了愈发迫切的需求。近期我们利用计算智能驱动的自由几何建模与多级设计，构建了自由几何反弹簧柔顺机构（F-AS），实现了片上结构中世界领先的固有频率（~1 Hz）和加速度-位移灵敏度（~100 μm/Gal），同时结合拥有pm位移测量精度的高集成度微光栅腔式位移测量单元，实现了μGal/ng级的重力加速度测量灵敏度和出色的测量稳定性。这种基于可修调自由几何非稳态柔顺机构的多级设计方法也为解决实现复杂结构极致性能的设计问题提供了解决思路。
图1. MOEMS相对重力敏感单元示意图
六、代码链接：https://www.nature.com/articles/s41467-025-57176-z
七、资助信息：本工作得到了国家自然科学基金、浙江省自然科学基金、宁波市自然科学基金等项目经费的支持。
来源：王小旭团队
审核：易正阳
