一、中期答辩题目：基于自由几何悬臂梁的光机械加速度感测单元关键技术研究
二、中期答辩人：闫文辉
三、中期答辩时间：2025年6月26日 下午 15:30
四、中期答辩地点：创新大厦b座1901会议室
五、中期答辩内容简介：
针对高精度、小型化的加速度计设计需求，及国内光机械加速度感测单元的设计方法缺失问题，聚焦于基于自由几何悬臂梁的光机械加速度感测单元，拟通过局部可修自由曲线与敏感质量的一体化小型化建模，解决模型复杂度和自由度矛盾以及高精度和小型化之间的矛盾；通过跨体系融合算法驱动多级优化，平衡设计效率和加工精度；通过不确定性分析和局部修调，兼顾传感器性能、小型化和抗干扰性，实现亚 μg 光机械加速度感测单元的准确高效可靠设计；同时兼顾MEMS工艺及加工制备过程的可行性，对上述设计方法的结构方案进行工艺容差修正；最终通过具体的试验样机完成对上述结构设计方案的验证。
本课题的研究将建立适用于光机械加速度计感测单元的理性设计方法，揭示感测单元多物理场响应调控、参数优化和误差传递等环节的耦合关联机理，为微纳光机电传感器件和小型化片上集成系统的设计提供基础理论支撑和设计工具革新；设计的光机械加速度计感测单元也将助力亚 μg 片上加速度计的最终实现，满足小型化精确制导武器、姿态测量系统和地球物理应用等迫切需求，为国防现代化和新型工业化。
六、中期答辩人简介
闫文辉，男，西北工业大学自动化学院控制科学与工程专业，2021级在读博士研究生，主要研究方向为光机械加速度感测单元设计及制备。
