一、开题答辩题目：基于自由几何悬臂梁的光机械加速度感测单元设计方法研究
二、开题答辩人：闫文辉
三、开题答辩时间：2024年6月7日 下午15:00
四、开题答辩地点：创新大厦b座1901会议室
五、开题答辩内容简介：
本课题面向国内光机械加速度感测单元的设计方法缺失问题，聚焦于基于自由几何悬臂梁的光机械加速度感测单元，拟通过局部可修自由曲线一体建模，解决模型复杂度和自由度矛盾；通过跨体系融合算法驱动多级优化，平衡设计效率和精度；通过不确定性分析和局部修调，兼顾设计性能和可靠性，实现亚μg光机械加速度感测单元的准确高效可靠设计；并兼顾加工制备过程的可行性，对上述设计方法的结构方案进行工艺容差修正；最终通过具体的试验样机进行上述结构设计方案的验证。
本课题的研究将建立适用于光机械加速度计感测单元的理性设计方法，揭示感测单元多物理场响应调控、参数优化和误差传递等环节的耦合关联机理，为微纳光机电传感器件和片上系统的设计提供基础理论支撑和设计工具革新；设计的光机械加速度计感测单元也将助力亚 μg 片上加速度计的最终实现，满足小型化精确制导武器、姿态测量系统和地球物理应用等迫切需求，为国防现代化和新型工业化。
六、开题答辩人简介
闫文辉，男，西北工业大学自动化学院控制科学与工程专业，2021级在读博士研究生，主要研究方向为光机械加速度感测单元设计及制备。
